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膜渗透型标准泄漏

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-11-04 0:47:44 * 浏览: 0
Z *膜渗透型标准泄漏的早期使用是石英膜渗透型标准泄漏,这是z *通用的标准泄漏,用于校准氦质谱仪泄漏检测器的灵敏度。具有憩室泄漏的石英膜的泄漏率(如图13-2所示)一般为10 ^ -2Pamiddot,L / s〜10 ^ -6Pamiddot,L / s(室内氦压力约为100kPa)。许多家庭单位已经发展了这种泄漏。氦的泄漏率可以由下式表示。从公式(13-9)可以很容易地看出,选择了不同石英膜的厚度,面积和填充压力。可以进行具有不同泄漏率的标准泄漏。从方程(13-9)还可以看出,泄漏率与温度成指数关系。由于温度对泄漏率有很大影响,因此应注意纠正因温度变化而引起的影响。利用泄漏率和温度相关特性,可以将石英膜渗滤型泄漏孔制成泄漏率可调的泄漏孔。例如,石英泄漏在200°C下以0He的泄漏速率QHe = 1.14倍,10 ^ -5Pa.L / s,在200c下,泄漏率QHe = 6.8倍的泄漏速率10 ^ -4Pa.L / s,变化几乎是两个数量级,但是变化的过程很慢。当改变石英膜渗透型泄漏孔入口端的氦气压力时,要花费较长时间才能重新建立稳定的氦气流量。因此,泄漏孔大部分被制成腔室。也可以通过使用硬质玻璃膜形成泄漏孔,泄漏率为10 ^ -7Pa.L / s至10 ^ -8Pa.L / s。