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背压泄漏检测

* 来源: * 作者: * 发表时间: 2019-10-14 0:17:45 * 浏览: 1
背压泄漏检测广泛用于电子设备和半导体设备等密封件的非破坏性泄漏检测。当检测到泄漏时,将要检查的对象存储在装有高压泄漏气体(氦气,氖气和其他气体的混合物)的容器中。如果检测到的零件有泄漏,则泄漏的气体会通过泄漏。孔进入样品内部。泄漏孔的存在和大小可以通过检测从泄漏孔逸出的泄漏气体来确定。具体设备如图13-48所示。检漏步骤:将被检零件放入检漏箱(加注箱),关闭检漏箱后,打开检漏箱,经过一定时间后以一定压力填充漏气。之后,将罐中的泄漏气体排出,并再次将泄漏检测箱抽空。如果在一定时间内没有抽出检漏盒的真空度,或者在停止抽气时真空度迅速下降,则意味着试件有较大的泄漏孔(请注意,采样阀不应可以打开以防止大量氦气。)进入氦质谱仪检漏仪)。此时,应将标本取出,并应使用其他洪水来发现泄漏。如果检漏盒可以抽真空,则打开采样阀进行采样。如果试件的泄漏率较小,则可以将采样阀完全打开,从而使泄漏检测系统处于z *敏感状态(上述操作可以根据特定过程自动执行)。然后打开检漏仪的节流阀。如果样品泄漏,仪器的输出指示将改变。将检查材料浸入高压泄漏气体中的时间为真空管框图t1,从排除高压泄漏气体到泄漏检测的时间间隔为净化等待时间t2,泄漏泄漏检测器直接指示的泄漏率qt与泄漏的泄漏率之间的关系(当泄漏的气流特性为分子流时)是背压泄漏检测。泄漏检测的灵敏度与以下因素有关:1浸入的泄漏气体的压力越高,易于检测小泄漏; 2浸泡时间t1越长,等待时间t2越短,泄漏检测的灵敏度就越高。 ,3,被测件的体积越小,泄漏检测的灵敏度越高,4,由于被测件的外表面的原因当浸没气体被吸附时,可能会增加泄漏检测过程中的焓本底和噪声,从而降低敏感性。因此,在净化等待时间内,应尽可能除去吸附在试件表面的泄漏气体。背压泄漏检测方法不适用于检测大泄漏。由于在浸泡期间进入测试件的泄漏气体将在净化等待时间内迅速泄漏出去,因此泄漏检测的灵敏度降低,甚至没有检测到泄漏孔。相反,这可能会将大泄漏误解为小泄漏。为了避免此类错误,在背压测试合格后,需要进行气泡测试。